光学元件(镜片/棱镜/光纤耦合器/光学薄膜)的加工和装配对环境极其敏感。一粒微米级尘埃落在镜片表面就会形成散射点,一次轻微振动就会导致光轴偏移。光学洁净车间的核心控制要素:· 尘埃控制:ISO 5-6级(百级-千级),比电子车间要求更高· 微振动控制:地面振动速度<5μm/s (VC-C级),隔绝环境振源· 温度稳定:±0.5°C精密控温,消除热胀冷缩对光学检测的影响· 湿度控制:40-55%RH,防止镜片表面霉变和镀膜脱落
获取方案| 功能区 | 洁净等级 | 温度 | 湿度 | 振动等级 | 照明 |
|---|---|---|---|---|---|
| 镀膜车间 | ISO 5(百级) | 22±0.5°C | 40±5% | VC-C | 黄光/可调 |
| 精密装配 | ISO 5-6(百-千级) | 22±0.5°C | 45±5% | VC-B | ≥500lx |
| 光学检测 | ISO 6(千级) | 22±0.5°C | 45±5% | VC-D | 可调 |
| 元件清洗 | ISO 6(千级) | 22±1°C | 45±10% | VC-A | ≥300lx |
| 包装间 | ISO 7(万级) | 23±2°C | 50±10% | - | ≥300lx |
FFU全覆盖垂直层流,ULPA过滤器(≥99.9995%),确保ISO 5级百级环境下微米级尘埃零污染。
浮置地板+设备减震基座+管道软连接,从建筑结构源头消除设备和交通引起的微振动传递。
PID恒温空调系统,温度波动控制在±0.5°C以内,消除热胀冷缩对光学装配和检测的影响。
黄光区防止UV对光学胶固化的干扰,检测区高显色指数(Ra≥90)照明保障目视检验准确性。
暖通系统:全新风直流式设计(光学级),确保车间无交叉污染。温控精度依靠多点测温+PID联动调节实现±0.5°C稳定性。围护结构:无机预涂板或不锈钢板,接缝处双道密封处理。地面采用防静电环氧自流平,表面平整度≤2mm/2m。特气系统:高纯氮气管路(镀膜工艺用),316L不锈钢电抛光管道,内壁洁净度达到SEMI标准。气流组织:全区域垂直层流设计,避免乱流产生扬尘,回风口设置在低位侧墙,形成活塞流效果。
了解详情核心区别在两点:① 洁净等级更高——电子车间万级(ISO 7)即可满足大部分SMT工艺,光学车间核心区通常需要百级-千级(ISO 5-6);② 振动控制——电子车间一般不要求微振动控制,光学车间必须做振动隔离设计,特别是干涉仪、光谱仪等精密检测设备的安装位置。
分三层防护:① 建筑层——浮置地板或独立柱基,与主体结构脱开,隔绝建筑传振;② 管道层——空调风管和给水管道全部采用柔性连接,避免设备振动通过管道传递;③ 设备层——精密设备下方安装主动/被动减震平台。最终以振动测量仪实测验证,确保达到VC-C或以上等级。
光学车间由于洁净等级高且需要振动控制,造价高于普通电子车间。ISO 5级百级区域通常在5000-10000元/㎡,ISO 6级千级区域在3000-6000元/㎡。振动隔离工程(浮置地板+减震基座)根据面积和等级需额外投入500-1500元/㎡。
中等规模(500-1000㎡)的光学洁净车间通常需要45-60天,如果含浮置地板等振动隔离工程,需额外10-15天。调试阶段需要做洁净度、温湿度稳定性和振动测量的全面验证。
光学精度,始于环境控制
森培环境为光学仪器制造企业提供ISO 5-6级高洁净+微振动控制的一体化车间方案,确保光学元件加工和装配的良率与精度。
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