✔ ISO 5级百级洁净度验收合格
| 项目行业 | 光电子 · LED外延与封装 |
|---|---|
| 洁净等级 | ISO 5级（百级）核心区 / ISO 7背景 |
| 项目面积 | 5,200 ㎡ |
| 建设周期 | 135 天 |
| 执行标准 | ISO 14644-1 · GB 50472-2008 |
| 服务范围 | 设计 · 施工 · 调试 |
案例核心结论
这个 LED 外延封装项目的难点，不只是 1200㎡ ISO 5 核心区，而是 MOCVD 特气、1000℃ 级排热和酸碱有机废气要同时纳入洁净系统边界。 同类 MiniLED 或外延产线前期应先核对 FFU 覆盖率、特气柜间、冷却水、废气分类和设备进场节奏，再进入洁净工程报价资料判断工期与预算。
项目背景与挑战
客户为华南LED芯片龙头企业，新建MiniLED外延片和封装产线，核心MOCVD和固晶工艺区域需达到ISO 5级百级环境。
难题一：MOCVD高温特种气体
外延工艺使用TMGa、NH3等特种气体，MOCVD反应腔温度超过1000℃，需设计高效排热和特气管路系统。
难题二：超大面积百级区域
核心区面积达1200㎡，FFU覆盖率需>85%，电力负荷和气流均匀性控制难度极大。
难题三：化学品与酸碱废气处理
芯片制程涉及酸碱清洗和有机溶剂，废气需分类收集和处理达标排放。
我们的解决方案
LED洁净车间系统解决方案
FFU满布+MAU系统
核心区采用FFU满布设计（覆盖率88%），配合MAU新风机组集中预处理。FFU选用低噪EC电机型，噪音控制在55dB以下。总装机FFU 460台。
特气系统与排热
MOCVD区域设计独立特气柜间，TMGa/NH3管路全部双套管+尾气处理（Wet Scrubber）。MOCVD排热采用独立冷却水系统，不与空调系统交叉。
废气分类收集处理
酸性废气、碱性废气、有机废气三路独立收集，分别配置PP酸碱洗涤塔和活性炭吸附装置，排放浓度满足GB 16297标准。
施工纪实
从设计到验收，全程135天
第1-25天 · 设计阶段
工艺布局与洁净系统设计
MOCVD区域布局、FFU阵列设计、特气管路规划、废气处理方案。
第26-70天 · 施工阶段
围护结构与机电大安装
洁净围护板安装、高架地板铺设、HVAC管道+FFU吊装、特气管路施工。
第71-105天 · 调试阶段
系统联调与分级测试
460台FFU逐台调试、气流均匀性测试、特气泄漏检测、废气排放检测。
第106-130天 · 验证阶段
ISO 14644认证测试
洁净度分级测试、温湿度分布测试、噪音测试、文件编制。
第135天 · 验收通过
全面达到设计指标
MOCVD设备进场，首批外延片合格率达标。
关键验收数据
以下数据来自ISO 14644认证检测
| 检测项目 | 设计标准 | 验收实测值 | 判定 |
|---|---|---|---|
| 核心区洁净度 | ISO 5 / ≤3,520 pc/m³ | 2,180 pc/m³ | ✔ 合格 |
| 背景区洁净度 | ISO 7 / ≤352,000 pc/m³ | 195,000 pc/m³ | ✔ 合格 |
| FFU覆盖率 | ≥85% | 88% | ✔ 合格 |
| 温度 | 23±1℃ | 23.1℃ ±0.7℃ | ✔ 合格 |
| 相对湿度 | 50±10% | 48% | ✔ 合格 |
| 噪音 | ≤60 dB(A) | 55 dB(A) | ✔ 合格 |
项目成果
"车间投产后MiniLED外延片合格率即达到95%以上，满足客户量产要求。"
核心交付成果：
· 核心区洁净度稳定达到ISO 5级
· 460台FFU能耗优化，PUE1.38
· 特气系统零泄漏运行
· 废气排放全部达标
· MiniLED外延片合格率**>95%**
常见问题
LED 外延车间为什么要把特气系统和洁净系统一起看？
MOCVD 工艺会涉及 TMGa、NH3 等特种气体，特气柜间、管路、泄漏检测和尾气处理都会影响洁净区布局。只看 FFU 和洁净等级，容易漏掉工艺安全边界。
1200㎡ 百级核心区的主要成本变量是什么？
主要变量是 FFU 覆盖率、吊顶承载、电力容量、MAU 新风处理、回风方式和调试采样点。若核心区面积扩大，设备和自控点位会同步放大。
LED 外延或封装项目咨询前，需要准备哪些工艺信息？
建议准备工艺段、MOCVD 或固晶设备数量、特气种类、废气分类、洁净等级分区和设备进场计划。可以先通过洁净工程报价资料提交这些信息，避免把洁净和特气边界拆开估。
