| 项目行业 | 光电子 · LED外延与封装 |
| 洁净等级 | ISO 5级（百级）核心区 / ISO 7背景 |
| 项目面积 | 5,200 ㎡ |
| 建设周期 | 135 天 |
| 执行标准 | ISO 14644-1 · GB 50472-2008 |
| 服务范围 | 设计 · 施工 · 调试 |
客户为华南LED芯片龙头企业，新建MiniLED外延片和封装产线，核心MOCVD和固晶工艺区域需达到ISO 5级百级环境。
难题一：MOCVD高温特种气体
外延工艺使用TMGa、NH3等特种气体，MOCVD反应腔温度超过1000℃，需设计高效排热和特气管路系统。
难题二：超大面积百级区域
核心区面积达1200㎡，FFU覆盖率需>85%，电力负荷和气流均匀性控制难度极大。
难题三：化学品与酸碱废气处理
芯片制程涉及酸碱清洗和有机溶剂，废气需分类收集和处理达标排放。
核心区采用FFU满布设计（覆盖率88%），配合MAU新风机组集中预处理。FFU选用低噪EC电机型，噪音控制在55dB以下。总装机FFU 460台。
MOCVD区域设计独立特气柜间，TMGa/NH3管路全部双套管+尾气处理（Wet Scrubber）。MOCVD排热采用独立冷却水系统，不与空调系统交叉。
酸性废气、碱性废气、有机废气三路独立收集，分别配置PP酸碱洗涤塔和活性炭吸附装置，排放浓度满足GB 16297标准。
从设计到验收，全程135天
以下数据来自ISO 14644认证检测
| 检测项目 | 设计标准 | 验收实测值 | 判定 |
|---|---|---|---|
| 核心区洁净度 | ISO 5 / ≤3,520 pc/m³ | 2,180 pc/m³ | ✔ 合格 |
| 背景区洁净度 | ISO 7 / ≤352,000 pc/m³ | 195,000 pc/m³ | ✔ 合格 |
| FFU覆盖率 | ≥85% | 88% | ✔ 合格 |
| 温度 | 23±1℃ | 23.1℃ ±0.7℃ | ✔ 合格 |
| 相对湿度 | 50±10% | 48% | ✔ 合格 |
| 噪音 | ≤60 dB(A) | 55 dB(A) | ✔ 合格 |
核心交付成果：
· 核心区洁净度稳定达到ISO 5级
· 460台FFU能耗优化，PUE1.38
· 特气系统零泄漏运行
· 废气排放全部达标
· MiniLED外延片合格率>95%
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