无尘室与Mini-Environment的概念

无尘室亦称为洁净室或清净室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。

空气洁净技术最早发展产生在第二次世界大战期间的美国，当时主要是应用于军事领域，以满足战争的需要。空气净化的核——高效过滤器，在当时研制成功。

工业无尘室

以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）、宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）、LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。

生物无尘室

主要控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为：一般生物无尘室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业无尘室。例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。生物学安全无尘室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例：细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因、疫苗制备）。

天花板系统、空调系统、隔墙板、地板（高架地板或防静电舒美地板）和照明器具（日光灯、黄色灯管等）。

1.能除去空气中飘游之微尘粒子。

2.能防止微尘粒子之产生。

3.温度和湿度之控制。

4.压力之调节

5.有害气体的排除。

6.结构物与隔间之气密性。

7.静电之防制。

8.电磁干扰预防。

9.安全因素之考虑。

10.节能之考量。

依气流流动方式分类：

1.乱流式(Turbulent Flow)——气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态，适用于无尘室等级1000~100000级。

2.层流式(Laminar)——分水平层流式和垂直层流式两种，一般适用在无尘室等级1~100级。3.复合式（MixedType）——将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。洁净隧道、洁净管道、洁净工作台、洁净工作棚等。

依建筑物结构分类：1.双楼层洁净室式 2.三楼层式 3.单楼层式

依建筑物结构分类：1.BallRoom——单区大空间式 2.Bayand Chase——隧道式

以BallRoom为架构之洁净室，因仅需对晶圆会暴露于环境中的局部区域架设超洁净环境，而不需花费大量成本进行全区环境洁净度的提升。因此我们将此一局部超洁净之区域称为“Mini-Environment”。lMini-Environment的架构可由厂务FFU系统延伸或机台设备本身建构FFU系统两种。

Mini-Environment的架构可由厂务FFU系统延伸或机台设备本身建构FFU系统两种。