半导体洁净室建设指南：从洁净度标准到设计要点全解析半导体制造中，洁净度是决定芯片良率的关键，随着工艺节点演进，洁净室控制要求从微米级提升至纳米级，工程设计也日趋复杂。森培环境经验显示，项目初期规划若对核心参数和行业特殊性认知不足，会导致后期改造成本高或能效不佳。本文将系统梳理半导体洁净室标准与未来趋势，为项目规划提供技术指南。洁净室首要任务是控制空气中悬浮微粒，遵循ISO 14644

本案为高端芯片封测车间项目，重点解决了微细粉尘控制与ESD静电防护两大难题。通过采用FFU满布与高架地板回风系统，核心区达到ISO 5级（百级）标准，良品率提升显著。